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    解決方案
    
        
    
            
    
    
        
        
    
            
    真空泵排氣速度和電導率的單位換算
    
        
    
        
    
            
    
	
		
    
			
			
			
				m3/s
			
			
				L/s
			
			
				L/min
			
			
				cm3/s
			
		
    
		
    
			
				m3/s
			
			
				1
			
			
				103
			
			
				6×104
			
			
				106
			
		
    
		
    
			
				L/s
			
			
				10-3
			
			
				1
			
			
				60
			
			
				103
			
		
    
		
    
			
				L/min
			
			
				1.667×10-5
			
			
				1.667×10-2
			
			
				1
			
			
				16.67
			
		
    
		
    
			
				cm3/s
			
			
				10-6
			
			
				10-3
			
			
				0.06
			
			
				1
    
			    		
		
    
	    

    
        
    
    
    

        
    
    
    

    

    
    



    


    
    
    
        
    
            
    
    
        
    
		
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