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Edwards STP 451磁懸浮渦輪泵

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產品名稱: Edwards STP 451磁懸浮渦輪泵

產品型號: B74841010

產品展商: Edwards

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簡單介紹

Edwards STP 451磁懸浮渦輪泵 的詳細介紹

Edwards STP 451 Turbomolecular Vacuum Pump - NEW

Edwards high performance STPH301C turbomolecular pump has been designed for use in the harshest of semiconductor applications. The pumps field proven reliability and class-leading performance give maximum process flexibility. The STPH301C has been approved for use by major equipment manufacturers in the semiconductor and magnetic media industries.

Advanced Rotor Technology

Higher gas throughput
Maximized process flexibility
Oil free
Low vibration
High reliability
Maintenance free
Harsh process compatible
Increased life

Advanced Controller Design

Auto tuning
Self diagnostic functions
DC motor drive
Battery-free operation

Compact Design

Small footprint
Half rack controller

5 Axis Magnetic Suspension System

Zero contamination
Low maintenance
Any orientation operation

Inlet flange	ISO160
Outlet port	KF25
Pumping Speed
N2	440 l s-1
H2	275 l s-1
Compression ratio
N2	>108
H2	>2 x 104
Ultimate pressure	10-7 Pa (10-9 Torr)
Maximum allowable inlet pressure
Ambient cooled	0.066 Pa (5 x 10-4 Torr)
Maximum continuous outlet pressure
Ambient cooled	13 Pa (0.1 Torr)
Rated speed	48000 rpm
Starting time	3 min
Maximum inlet flange temperature	120 °C
Input voltage	100 to 120 V a.c. (± 10) or
	200 to 240 V a.c. (± 10)
Power consumption
Start up	0.55 kVA
Weight
Pump	12 kg
Controller	7 kg

B74841010	P021 451 PUMP ICF203/DN160CF KF25
B74840030	P021 451 PUMP ISO160K KF25
B74851010	P021 451C PUMP ISO160K KF25 KF10
B74861010	P021 451C PUMP ICF203/DN160CF KF25 KF10
YT21Z0Z01	SCU-350 CONTROL UNIT (100V/200V)
B70700010	P021 CONNECTION CABLE 3M STRAIGHT
B70700000	P021 CONNECTION CABLE 5M STRAIGHT
B70700040	P021 POWER CABLE 5M RING TERMINAL
B70700090	P021 POWER CABLE 3M RING TERMINAL
B70700130	P021 CONNECTION CABLE 10M STRAIGHT
YT21CA001	P021 WATER COOLING UNIT HORIZONTAL
YT011A003	P021 COOLING FAN 115V 1M
YT011A005	P021 COOLING FAN 220V-240V 1M

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